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集成電路芯片用純水設(shè)備

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基本情況


導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度高,線寬窄,對(duì)水質(zhì)的要求也越高。目前我國(guó)電子工業(yè)部把電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等級(jí),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。


工藝流程圖



方案優(yōu)勢(shì)


1、系統(tǒng)采用新水處理技術(shù)雙級(jí)RO+EDI+混床模塊化設(shè)計(jì),嚴(yán)格按新技術(shù)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),確保水質(zhì)穩(wěn)定,長(zhǎng)效運(yùn)行。

2、通過(guò)專(zhuān)業(yè)技術(shù)設(shè)計(jì),確保系統(tǒng)短時(shí)停機(jī)及長(zhǎng)時(shí)間停機(jī)時(shí)水質(zhì)保持穩(wěn)定。

3、通過(guò)專(zhuān)業(yè)技術(shù)保證終端出水恒壓、水質(zhì)穩(wěn)定。

4、通過(guò)完善的技術(shù)大限度的提高系統(tǒng)回收率,降低能耗和運(yùn)行成本。

5、采用海德能ESPA2超低壓膜,運(yùn)行穩(wěn)定,能耗低。

6、采用PH調(diào)節(jié)系統(tǒng)以確保水溫下降或原水PH值偏低時(shí)EDI出水水質(zhì)。

7、配備專(zhuān)門(mén)的有化學(xué)清洗系統(tǒng),可定期對(duì)反滲透進(jìn)行化學(xué)清洗,以確保系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。

8、配備濃水置換專(zhuān)業(yè)技術(shù),防止膜系統(tǒng)受到微生物污染。

9、EDI及后段出水采用超純水專(zhuān)用管道,大限度的保證出水水質(zhì)。

10、EDI水箱采用氮封裝置,以確保終端水質(zhì)穩(wěn)定及延長(zhǎng)核能混床壽命。

11、采用PLC加觸摸屏控制系統(tǒng),并采用進(jìn)口電氣原件,操作方便,運(yùn)行穩(wěn)定。

12、電子半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備主體材料全部采用行業(yè)內(nèi)國(guó)際知名品牌,保質(zhì)保量,并按配置設(shè)計(jì)。

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